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    氬氣做為粗漏示蹤氣體的優越性
    來源:www.kaicorvus.com 發布時間:2020年07月16日
    莆田氬氣和氦氣同為空氣中的惰性氣體,正??諝庵械臍鍤夥謿鈮篜Ar0為946Pa,氦氣分氣壓PHe0為0.533Pa,PAr0是PHe0的1775倍。
    在積累氦質譜粗漏細漏組合檢測中,以莆田氬氣為粗漏示蹤氣體,比以氦氣為粗漏示蹤氣體,具有更高的靈敏度。
    采用Pernicka 700H CHLD、配以不同的檢測室和Inficon德國公司Rudi Widt先生自制的莆田氬氣標準漏孔,進行的測試表明,在測試的氬氣不合理的經過深冷泵、氬的吸收使積累曲線呈下降狀,因此有一定偏差的情況下,Pernicka 700H CHLD仍能基本準確地測試3.0×10-2Pa·cm3/s和2.0×10-3Pa·cm3/s的氬氣漏率。

    式中,P0為標準大氣壓,P0=1.013×105Pa;MA為以克表示的平均空氣摩爾質量,MA=28.96g。

    莆田氬氣

    綜合不同檢測室的穩定氬氣漏率本底和不同樣品的穩定吸附氦漏率,從小內腔容積被檢件開始,可對應粗漏可檢等效標準漏率L0為0.1Pa·cm3/s、0.3Pa·cm3/s和1.0Pa·cm3/s,分別取粗漏氬氣測量漏率判據RAr0max為7.95×10-4Pa·cm3/s、2.39×10-3Pa·cm3/s和7.95×10-3Pa·cm3/s。
    使初次檢測被檢件預充氣體中包含分氣壓為PAr0的氬氣,再次檢測壓氦的同時包含分氣壓為PAr0的氬氣,檢測前始終貯存在正??諝庵?,粗漏檢測以莆田氬氣為示蹤氣體,細漏檢測以氦氣為示蹤氣體,則可以充分地將粗漏和細漏分開,細漏檢測的氦氣測量漏率判據Rmax可以大于粗漏判據RAr0max所對應的R0max;可以選取小于等于1.0 Pa·cm3/s的L0;同樣內腔容積被檢件τAr0所對應的τHe0不僅遠大于以氦氣為粗漏細漏示蹤氣體的積累氦質譜組合檢測的τHe0,而且可以大于以氟碳化合物氣泡法進行粗檢漏(L0=1.0Pa·cm3/s)的氦質譜細檢漏的τHe0,可以成數量級或成倍地加大定量確定的長候檢時間;有更充裕的時間去除被檢件的表面吸附氦,從而允許采用更嚴的細漏測量漏率判據Rmax;為減少粗漏漏檢,若取t4max=0.1τAr0,同樣的儀器可適用更寬的τHemin和V范圍。
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